Verbum

ПЛЁНАЧНАЯ ТЭХНАЛО́ГІЯ,

1) танкаплёначная тэхналогія — сукупнасць спосабаў атрымання тонкіх плёнак металаў, дыэлектрыкаў і паўправаднікоў пры вырабе элементаў інтэгральных схем, паўправадніковых прылад і інш.

Тонкія плёнкі атрымліваюць фіз. (напр., выпарэннем у вакууме), хім. (эл.-хім. асаджэнне, тэрмічнае вырошчванне, анадзіраванне) і камбінаванымі (тэрмаіоннае і плазмахім. асаджэнне, газавае анадзіраванне) метадамі. Канфігурацыя элементаў мікрасхем ствараецца асаджэннем праз маскі, фоталітаграфіяй, электроналітаграфіяй і інш. спосабамі.

2) Таўстаплёначная тэхналогія — сукупнасць метадаў стварэння праводных, рэзістыўных, дыэл. і ізаляцыйных слаёў (тоўстых плёнак) пры вырабе інтэгральных схем, мантажных плат, токаправодных плёнак на керамічных карпусах інтэгральных схем і інш. Найб. пашыраны трафарэтны спосаб, пры якім плёначныя элементы ствараюцца нанясеннем праз трафарэт слоя спец. пасты з наступнай яе тэрмічнай апрацоўкай.

т. 12, с. 426